CZ晶体生长炉
产品简介：
直拉法晶体生长炉，可针对于高纯度活泼材料的晶体生长实验探索，也可以适用于晶体材料的生产；此款晶体生长炉可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶，如蓝宝石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，最高温度可达 2100℃ （石墨坩埚）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，石墨坩埚、或者氮化硼坩埚、精密提拉机构和坩埚旋转机构。
二、主要技术参数
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工作电源 |
AC 380V，三相，20KW |
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感应射频 |
30-80KHz |
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最高熔炼温度 |
1650℃ |
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真空系统（选配） |
配置一：10-2torr (机械泵) 1.型号：VRD-24 2.抽气口接口尺寸：KF25 3.抽气速率：(24m3/h) 6.6L/S 4.电机功率：750W 5.极限压强 4×10-2Pa 配置二：10-5torr (机械泵+分子泵) 1.抽气速率：620L/s 2.极限压强：6×10-5Pa 3.启动时间：≤8min 4.额定转速：27000rpm/min 5.冷却方式：水冷 6.抽气口接口尺寸：LF160 |
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真空腔室
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1.采用 SS304 不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度 ≤70℃， 2.腔体尺寸： φ400*400mm卧式结构 3.腔门上有一个50*150mm 的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实 时观察样品的熔化和生长情况； 4.腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.15MPa 的机械压力表用于观察 腔室内压力情况 5.一个 φ6 双卡套接头做为出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断 6.一个电磁阀可自动控制进气 7.安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压， 确保腔体的安全 |
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提拉机构 |
1.提拉采用伺服电机驱动，旋转采用直流电机驱动 2.提拉速度：0.01-30mm/h 3.籽晶杆旋转速度：0.1-60 rpm 4.最大提拉行程：200mm 5.位移精度：0.01mm 6.提拉分为快速和慢速 |
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坩埚旋转机构 |
1.直流电机驱动 2.旋转速度：1-30 rpm |
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控制系统 |
1.整个电路控制系统在触摸屏上面实现操作控制,采用控制软件进行控制，可以实现以下功能： 2.生长斜率及控制参数设定； 3.控制晶升，动态可调 4.控制晶转，可设定多段速自动执行 5.腔体真空压力检测 6.报警监测，晶升晶转中频气压等上限报警 7.实时数据曲线 8.数据记录， 自动存储运行数据 |
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水冷系统（选配） |
1.工作电流：2.1-12.9A 2.制冷量：49474Btu/h 3.最大流量：117L/min 4.水箱容量：75L |
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坩埚系统（选配） |
1.可选石墨坩埚或者氮化硼坩埚和相应的保温材料组件 此单晶炉的坩埚尺寸分为D50*H50mm和D80*H80mm |
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变压器（选配） |
可根据客户所在地的电压选配变压器，如480V变380V，415V变380V等 |
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产品尺寸（参考） |
1.设备主机：~1480mm(L) x 1150mm(W) x 2450mm(H) 2.冷水机：~800mm(L) x 800mm(W) x 1200mm(H) 3.变压器：~1050(L) x 800mm(W) x 1200mm(H) |
